ELFRA 7200
TM
ALD System - 양산 FAB에 납품
Remote Plasma 관련 미국 특허 취득
ELFRA 7200 4호기 납품
ELFRA 7200 3호기 납품
Remote Plasma 관련 특허 취득
ELFRA 7200 ALD SiO2 장비 판매
2002 ALD Conference
SEMICON West 2002
